半導体の生命線「蛍石」 高純度で生成、世界初の大型プラント製造 住友電設と名古屋工大
半導体製造に不可欠な鉱物「蛍石(ほたるいし)」(フッ化カルシウム)を高純度で生成する大型プラントを、住友電設と名古屋工業大の安井晋示教授が完成させた。電気設備…
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